원리 및 기능

DC 스퍼터링으로 시료 표면에 Au, Pt, Pd, Pt-Pd 등의 전도성 물질을 얇게 코팅하는 장치로, 절연체 시료를 전자현미경(SEM)에서 안정적으로 관찰하기 위해 사용된다. 또한 동일 원리를 이용해 박막 형태의 전극을 형성하는 용도로도 활용된다.

사양

• Pt target