원리 및 기능

시료의 표면 미세구조를 관찰하는 전자현미경으로, 전계방출 전자총(FEG)에서 생성된 미세 전자빔을 이용해 높은 해상도의 표면 이미지를 얻을 수 있다. 기본 SE detector를 통해 시료의 표면 형상(topography)을 선명하게 관찰할 수 있는 장비

기기활용

• Voltage contrast: 시료의 전기적 특성(전하 축적, 전도성 차이 등)에 따라 밝기 변화가 나타나는 대비. 반도체 패턴, 절연/도전 영역 구분 등에 활용됨.
• Edge contrast: 시료의 모서리(edge)나 경계 부분에서 전자 산란이 증가하여 나타나는 대비. 표면 형상(topography)이나 굴곡을 선명하게 보여주는 데 유용함.

사양

• 분해능: 1.5 nm at 15 kV(working distance, WD of 4 mm), 4nm at at 1 kV(WD of 3 mm), Magnification : 50x to 150,000x